表面評(píng)定參數(shù)

Ra、Rz、Rmax/Rt、Rq、R3z、Rsm?？梢罁?jù)DIN 4777及ISO 4287或日本標(biāo)準(zhǔn)JIS B601切換?？梢罁?jù)DIN 4776/ISO 13565（DIN EN ISO 13565）的參數(shù)顯示材料比率曲線（Mr1、Mr2、Rpk、Rpk*、Rvk、Rvk*）

截?cái)嘀?/span>

lc（mm）0.25、0.8、2.5

移動(dòng)行程

lt（mm）1.5、4.8、15.0

單個(gè)的截?cái)嚅L度值

可選1~5個(gè)截?cái)嚅L度

驅(qū)動(dòng)器移動(dòng)速度vt

vt（mm/s）0.15、0.5、1.0

測(cè)量范圍

1+20/-20μm / 10nm

+20/-60μm / 20nm

2+40/-40μm / 20nm

+40/-120μm / 40nm

DIN 4772，1級(jí)

顯示值

0.01μm

接口

V24（RS 232）連接線

電源供應(yīng)

9.6V充電電池及外接充電器